異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池是一種利用不同材料構(gòu)成的異質(zhì)結(jié)界面來(lái)產(chǎn)生光電轉(zhuǎn)換效應(yīng)的太陽(yáng)能電池。這種太陽(yáng)能電池通常由兩種或更多種不同類型的半導(dǎo)體材料組成，通過(guò)在界面處形成能帶偏移來(lái)實(shí)現(xiàn)光生電荷分離和電流產(chǎn)生。

具體的工藝流程如下：

異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池工藝流程主要包含以下關(guān)鍵步驟：

(1)硅片切割：使用高精度振鏡和直線電機(jī)進(jìn)行..調(diào)節(jié)，采用無(wú)冷媒的方式切割硅片，以保護(hù)N型硅片膜層，..切割質(zhì)量和效率。

(2)鏈?zhǔn)角逑矗?/strong>將切割好的硅片放入氫氧化鉀清洗液中進(jìn)行深度清潔，隨后進(jìn)行酸洗，徹底去除硅片表面的雜質(zhì)和污染物，為后續(xù)工藝奠定基礎(chǔ)。

(3)鏈?zhǔn)轿s：在硅片表面利用磷酸形成磷硅玻璃，通過(guò)這一步驟，有效吸出硅片內(nèi)部的金屬雜質(zhì)，提高硅片的純凈度和電池性能。

(4)清洗制絨：利用堿對(duì)硅的各向異性刻蝕原理，在硅片表面形成金字塔形狀，增加光吸收面積，提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率。同時(shí)，采用改良的RCA清洗工藝對(duì)硅片進(jìn)行清洗，為后續(xù)的鍍膜操作提供干凈的表面。

(5)PEVCD鍍膜：利用非晶硅的優(yōu)異性能，在硅片表面沉積本征非晶硅薄膜和摻雜非晶硅薄膜，形成PN結(jié)。這一步驟中，RF電源將硅烷、氫氣等工藝氣體激發(fā)為等離子體態(tài)，并使其相互反應(yīng)，..終以薄膜形式沉積在硅片上。

(6)PVD鍍膜：在電池表面沉積TCO透明導(dǎo)電氧化薄膜，利用磁控濺射原理，將TCO材料以薄膜形式均勻沉積到電池表面，實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電、減少反射并保護(hù)非晶硅薄膜的作用。

(7)絲網(wǎng)印刷：使用固定網(wǎng)版圖形將銀漿..印刷到電池的正背面，固化后形成導(dǎo)電電路，以便將電池產(chǎn)生的電流有效引出。

(8)測(cè)試分選：在標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試條件下對(duì)電池進(jìn)行電性能參數(shù)測(cè)試，包括開(kāi)路電壓、短路電流、填充因子和轉(zhuǎn)換效率等，根據(jù)測(cè)試結(jié)果將電池按照性能標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分檔。

(9)包裝、入庫(kù)：按照既定的數(shù)量和顏色標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)不同檔位的太陽(yáng)能電池片進(jìn)行分別包裝、打包，并入庫(kù)存儲(chǔ)，等待后續(xù)出貨或使用。

異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池由于其能夠結(jié)合不同半導(dǎo)體材料的優(yōu)勢(shì)，可以實(shí)現(xiàn)更高的光電轉(zhuǎn)換效率，因此在太陽(yáng)能領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用前景。